【导师】冯飞，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。
冯飞研究员长期从事微纳机电系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器研究。发明了可控XeF2腐蚀技术，并成功用于光学读出非致冷红外探测器的单面制作，噪声等效温差0.12K，阵列规模120*160，获得了人体的红外图像。首次提出含流线型微柱结构和直边椭圆微沟道的微色谱柱，攻克了高深宽比和跨微纳集成关键技术，研制出高效微色谱柱；攻克了隔热微结构设计、制备关键技术，研制出高灵敏度微色谱检测器。基于上述自研的微色谱芯片，研制出我国首套深海MEMS气相色谱仪并成功完成海试，获得了深海溶解气体的有效数据，海试获央视、新华社等媒体报道；研制出芯片式气相色谱中医闻诊仪样机。
申请专利55件（授权35件）；在本领域著名国际期刊Sensor. Actuat. B-Chem.、Talanta、J. Chromatogr. A、Analyst及本领域论文高选择性系列著名国际会议IEEE MEMS、IEEE Transducers发表论文70余篇。获2020年度上海市技术发明一等奖（排名7/15）一项，参编专著《硅基MEMS制造技术》入选电子工业出版社2022“年度好书”。